离子渗氮是利用气体的辉光放电,将离解的活性氮原子渗入金属材料表面内部形成氮化合物层和扩散层,提高钢件的耐磨性、耐腐蚀性、疲劳强度等性能的一种化学热处理工艺。
以离子渗氮为基础的复合工艺,是当前该领域的一个热点；N、C、O、S多元共渗层的组织与常规离子渗氮层相似,由化合物层、扩散层和基体组成,渗层硬度700HV(0.2)~1300HV(0.2)与普通离子渗氮层相比,渗层具有更好的耐磨性能、抗腐蚀性能和更低的成本,具有较好的应用价值
多元离子氮化法具有以下优点：
1、多元离子氮化法利用了离子化了的气体的溅射作用，因而与以往的氮化处理相比，可显著的缩短处理时间（多元离子渗氮的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3～1/5）。
2、离子氮化法利用辉光放电直接对工件进行加热，无需特别的加热和保温设备，可以获得均匀的温度分布，与间接加热方式相比加热效率可提高2倍以上，达到节能效果（能源消耗仅为气体渗氮的40～70％）。
3、多元离子氮化是在真空中进行，因而可获得无氧化的加工表面，也不会损害被处理工件的表面光洁度。而且由于是在低温下进行处理，被处理工件的变形量极小，处理后无需再行加工，极适合于成品的处理。
4、通过调节氮、氢及其他（如碳、氧、硫等）气氛的比例，可自由地调节化合物层的相组成，从而获得预期的机械性能。
5、多元离子氮化从380℃起即可进行氮化处理，此外，对钛等特殊材料也可在850℃的高温下进行氮化处理，因而适应范围十分广泛。
